“河南芯”實(shí)力知多少（智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈觀察）

????□本報(bào)記者?陳輝

????半導(dǎo)體是數(shù)字經(jīng)濟(jì)的基石，其發(fā)展水平已成為一國(guó)科技和產(chǎn)業(yè)實(shí)力的重要標(biāo)志。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈較長(zhǎng)，上游包括半導(dǎo)體設(shè)備及零部件、半導(dǎo)體材料等支撐性產(chǎn)業(yè)，中游包括芯片設(shè)計(jì)、制造和封測(cè)三大環(huán)節(jié)，下游則有消費(fèi)電子、通信、人工智能等多種應(yīng)用領(lǐng)域。

????河南高度重視半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，省委、省政府多次對(duì)重點(diǎn)事項(xiàng)進(jìn)行研究部署。近年來(lái)，我省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在不少環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)了從無(wú)到有的突破，半導(dǎo)體材料如硅片、濕化學(xué)品、電子特氣、超純銅等細(xì)分領(lǐng)域優(yōu)勢(shì)持續(xù)鞏固，專用設(shè)備、設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)等環(huán)節(jié)不斷取得新突破，越來(lái)越多的“河南芯”成為制造業(yè)強(qiáng)省建設(shè)的新名片。

????半導(dǎo)體關(guān)鍵材料有優(yōu)勢(shì)

????焦作多氟多生產(chǎn)的用于芯片清洗、蝕刻等環(huán)節(jié)的超凈高純電子級(jí)氫氟酸進(jìn)入國(guó)際高端半導(dǎo)體制造供應(yīng)鏈，洛陽(yáng)中硅高科生產(chǎn)的電子級(jí)多晶硅在第三代半導(dǎo)體碳化硅領(lǐng)域填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白……

????超凈高純電子級(jí)氫氟酸、電子級(jí)多晶硅都是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵材料。記者從省工業(yè)和信息化廳了解到，半導(dǎo)體關(guān)鍵材料是我省的優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)，在硅片、濕化學(xué)品、電子特氣、超純銅等方面有較好技術(shù)積淀并不斷有新突破，部分產(chǎn)品還打破了國(guó)外壟斷。

????芯片制造離不開(kāi)硅片，位于洛陽(yáng)的麥斯克電子材料股份有限公司就是我國(guó)小尺寸硅片的代表性企業(yè)之一，該公司自主研發(fā)的4英寸至6英寸小尺寸硅拋光片在行業(yè)中具有重要地位。隨著8英寸硅拋光片需求增大，近年來(lái)麥斯克將8英寸硅拋光片作為主要生產(chǎn)方向，已具備100萬(wàn)片年產(chǎn)能。

????三氟化氮、四氟化碳、六氟化鎢……這些統(tǒng)稱為電子特氣，與傳統(tǒng)的工業(yè)氣體相比，電子特氣的純凈度極高，是超大規(guī)模集成電路、平板顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件生產(chǎn)中不可缺少的關(guān)鍵性原材料。河南昊華氣體是國(guó)內(nèi)特種氣體技術(shù)領(lǐng)先企業(yè)，先后承擔(dān)多項(xiàng)國(guó)家科技攻關(guān)計(jì)劃，多個(gè)產(chǎn)品國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率第一。目前，該公司正圍繞創(chuàng)新鏈部署產(chǎn)業(yè)鏈，進(jìn)一步豐富氣體產(chǎn)品組合，形成IC制造化學(xué)氣相沉積、離子注入、擴(kuò)散、蝕刻等前道工藝用電子特氣的產(chǎn)品體系，打造國(guó)內(nèi)一流、國(guó)際知名的電子化工材料供應(yīng)商及綜合服務(wù)商。

????芯片多個(gè)環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)零的突破

????芯片處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的頂端，是現(xiàn)代科技“皇冠上的明珠”，芯片產(chǎn)業(yè)包含芯片設(shè)計(jì)、制造和封測(cè)三大環(huán)節(jié)。近年來(lái)，我省在芯片產(chǎn)業(yè)鏈上實(shí)現(xiàn)了不少新突破，漢威科技、仕佳光子、信大捷安等企業(yè)成為各自細(xì)分領(lǐng)域的領(lǐng)頭羊，也成為河南制造新的名片。

????專用芯片設(shè)計(jì)有基礎(chǔ)。河南芯片設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)主要涉及傳感、信息安全、光通信等部分專用領(lǐng)域，代表企業(yè)有漢威科技、日立信、森霸傳感、仕佳光子、信大捷安等，分布在鄭州、南陽(yáng)、鶴壁等地，其中鄭州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群入選2023中國(guó)百?gòu)?qiáng)產(chǎn)業(yè)集群。

????芯片制造加速度。我省芯片制造方面原本基礎(chǔ)薄弱，近幾年新鄉(xiāng)芯睿電子、鶴壁仕佳光子相繼具備了芯片制造能力，目前工藝主要集中在成熟制程。其中，新鄉(xiāng)芯睿電子擁有一條6英寸傳感器芯片生產(chǎn)線，鶴壁仕佳光子在國(guó)內(nèi)率先量產(chǎn)PLC光分路器芯片，成功打破該市場(chǎng)被國(guó)外廠商長(zhǎng)期壟斷的局面，目前已成為全球最大的光分路器芯片生產(chǎn)企業(yè)。

????封測(cè)發(fā)展勢(shì)頭好。通過(guò)招商引資、開(kāi)放合作，我省封裝、測(cè)試等產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了突破性發(fā)展。新鄭電子信息產(chǎn)業(yè)園引入的銳杰微擁有SiP（系統(tǒng)級(jí)封裝）、CSP（芯片級(jí)封裝）等先進(jìn)封裝技術(shù)。三門峽引入的中科微測(cè)一期高可靠封裝測(cè)試項(xiàng)目已建成投產(chǎn)。鶴壁引入的辰芯測(cè)試已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，預(yù)計(jì)全年測(cè)試芯片1000萬(wàn)顆以上。

????去年以來(lái)，我省在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)上持續(xù)加碼，成立省科學(xué)院集成電路研究所，建設(shè)省智能傳感器MEMS平臺(tái)，發(fā)揮超硬材料優(yōu)勢(shì)布局金剛石半導(dǎo)體，不斷補(bǔ)鏈延鏈強(qiáng)鏈整合優(yōu)勢(shì)、握指成拳，產(chǎn)業(yè)發(fā)展邁上快車道。